常用的治理方法有：吸收法、燃燒法、催化法、吸附法等；近年來由國外也發(fā)展出一些新的工藝技術(shù)：低溫等離子法等，以下對各工藝作簡要對比介紹。

（1）直接燃燒法

本法亦稱為熱氧化法、熱力燃燒法，是利用燃?xì)饣蛉加偷容o助燃料燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度(700～800℃)，駐留一定的時間(0.3～0.5秒)，使可燃的有害物質(zhì)進行高溫分解變?yōu)闊o害物質(zhì)。

本法的特點：工藝簡單、適用高濃度廢氣治理；但是對于企業(yè)現(xiàn)有自身不能燃燒的中低濃度尾氣，需助燃劑或加熱，能耗大（運行成本比催化燃燒法高10倍以上）；運行技術(shù)要求高，不易控制與掌握。

（2）催化燃燒法

本法是把廢氣加熱到200～300℃經(jīng)過催化床催化燃燒轉(zhuǎn)化成無害無臭的二氧化碳和水，達到凈化目的。本法的特點：起燃溫度低，節(jié)約能源；凈化率高，無二次污染；工藝簡單，操作方便，安全性好；裝置體積小，占地面積少；設(shè)備的維修與折舊費較低。該法適用于高溫、中高濃度的有機廢氣治理，國內(nèi)外已有廣泛使用的經(jīng)驗，效果良好。該法是治理有機廢氣的有效方法之一，但對于企業(yè)現(xiàn)有大風(fēng)量的有機廢氣治理存在設(shè)備投資大、運行成本較高的缺點。

（3）蓄熱式焚燒爐（RTO）

 RTO，是一種高效有機廢氣治理設(shè)備。與傳統(tǒng)的催化燃燒、直燃式熱氧化爐（TO）相比，具有熱效率高（≥95%）。RTO又稱蓄熱式氧化爐，其原理是在高溫下將可燃廢氣氧化成對應(yīng)的氧化物和水，從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以上。RTO主體結(jié)構(gòu)由燃燒室、陶瓷填料床和切換閥等組成?？筛鶕?jù)實際需求，選擇不同的熱能回收方式和切換閥方式。

RTO對于高濃度的可燃性廢氣具有很高的可行性，但是對于此工程項目不建議采用RTO工藝，原因主要有以下幾點：①企業(yè)車間廢氣風(fēng)量較大、濃度低，蓄熱焚燒時需外部補充大量燃料燃燒供熱，一次性投資成本及后期運行成本高，既不節(jié)能也不經(jīng)濟；②廢氣成分含有鹵素，燃燒后可能產(chǎn)生高致癌風(fēng)險的二惡英，對周邊居民健康產(chǎn)生極大的潛在危害；③RTO工藝對安全防護要求較高，尤其在化工企業(yè)應(yīng)用時，存在較大的安全隱患，在廢氣治理工藝選擇過程中需高度謹(jǐn)慎。。

（4）吸收法

吸收法可分為化學(xué)吸收和物理吸收，大部分有機廢氣不宜采用化學(xué)吸收。物理吸收要求吸收劑應(yīng)具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發(fā)性，吸收液飽和后經(jīng)解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選擇一種廉價高效的低揮發(fā)性吸收液也比較困難，同時二次污染問題較難解決，凈化效果不理想。即采用適當(dāng)?shù)奈談ㄈ绮裼汀⒚河?、水等介質(zhì)）在吸收塔內(nèi)進行吸收，吸收到一定濃度后進行溶劑與吸收液的分離，溶劑回收，吸收液重新使用或另行處理。

（5）吸附凈化法

吸附凈化法處理有機廢氣是利用顆粒活性炭、纖維活性炭或蜂窩狀活性炭巨大的比表面積吸附廢氣中的苯系物，使其凈化。當(dāng)活性炭吸附飽和后可用蒸氣進行解析，并回收吸附質(zhì)，活性炭吸附工藝最常用的是固定床吸附器。

由于該方法由于吸附效率受流速限制，處理大風(fēng)量時，將設(shè)備龐大，占地面積大，另外吸附劑容易被廢氣中的固體微粒和膠粘物質(zhì)堵塞，再有當(dāng)廢氣溫度高于50℃時，活性炭幾乎不起吸附作用，它主要用在處理氣量小，廢氣濃度高的場合。針對企業(yè)實際情況，可以將該法作為末端處理工藝配合其他處理對企業(yè)廢氣進行處理。

（6）等離子技術(shù)

利用電子、離子、自由基和中性粒子小于分子，能夠順利進入分子內(nèi)部，打開分子鏈，破壞分子結(jié)構(gòu)的原理，以每秒鐘300萬至3000萬速度的等量發(fā)射和回收，轟擊發(fā)生臭氣的分子，從而發(fā)生氧化等一系列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，將有害物轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)。這種方法常用于低濃度低氣量的廢氣治理。

（7）光催化氧化法

在光催化氧化反應(yīng)中，通過高能紫外光照射在納米TiO₂光催化劑上產(chǎn)生電子空穴對，與表面吸附的水份（H₂O）和氧氣（O₂）反應(yīng)生成氧化性很強的羥基自由基（OH-）和超氧離子自由基（O^2-、O^-）。能夠把各種廢臭氣體如醛類、苯類、氨類、氮氧化物、硫化物等有機物在光催化氧化的作用下還原成二氧化碳（CO₂）、水（H₂O）以及其它無毒無害物質(zhì)。優(yōu)點：占地面積小，運行成本較低，設(shè)備投資較低；缺點：水含量大及粉塵含量大的廢氣影響其去除效率。適用于適合較低中低濃度、大流量的廢氣治理。